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micro-capteur d'accélération capacitif

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Bonjour,
Je dois concevoir un micro-capteur d'accélération (accéléromètre) basé sur un principe capacitif et devant être fabriqué par micro-fabrication.
Je sais que la détection consiste à évaluer, lors de l’accélération, les variations de capacité lorsque le corps d’épreuve s’éloigne ou se rapproche de l’élément fixe.
Cependant le système que je dois élaborer doit etre élaborer des équations qui gouvernent son fonctionnement.
Le probleme c'est que je ne sais pas par ou commencer le...

micro-capteur d'accélération capacitif

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